【摘 要】
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亲水处理是硅片能否直接键合成功的关键。基于亲水处理的微观机理分析和不同清洗剂亲水处理的过程及效果 ,本文提出了独特的三步亲水处理法。这一方法既能顺利完成室温预键合
【机 构】
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电子科技大学微电子所四川成都610054,电子科技大学微电子所四川成都610054,电子科技大学微电子所四川成都610054
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亲水处理是硅片能否直接键合成功的关键。基于亲水处理的微观机理分析和不同清洗剂亲水处理的过程及效果 ,本文提出了独特的三步亲水处理法。这一方法既能顺利完成室温预键合 ,又能减少界面上非定形大尺寸SiOx 体的生成 ,避免了界面对电输运的势垒障碍 ,结果获得了理想的键合界面
Hydrophilic treatment is the key to success of silicon bonding. Based on the analysis of microscopic mechanism of hydrophilic treatment and the process and effect of different cleaning agent hydrophilic treatment, this paper presents a unique three-step hydrophilic treatment method. This method not only successfully completes the prebinding at room temperature, but also reduces the formation of large-size amorphous SiOx bulk on the interface and avoids the barriers to the electrical transport of the interface. As a result, the ideal bonding interface
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