【摘 要】
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静电封接是在外加电场下进行的封接,故又叫场助封接。这是近十年来较为先进的一种封接技术。它具有快速,简便,牢固,清洁等显著优点。根据静电封接的基本原理,它可以对半导体
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静电封接是在外加电场下进行的封接,故又叫场助封接。这是近十年来较为先进的一种封接技术。它具有快速,简便,牢固,清洁等显著优点。根据静电封接的基本原理,它可以对半导体(或金属)——玻璃(或其他绝缘体)两种类型的材料进行封接。除了平面封接而外,只要设计不同的电极形状,还可以对不规则几何形状的部件进行封接。
Electrostatic sealing is carried out under the external electric field sealing, it is also called field-assisted sealing. This is a more advanced sealing technique in the last decade. It has the obvious advantages of fast, easy, firm, clean and so on. According to the basic principle of electrostatic sealing, it can seal the semiconductor (or metal) - glass (or other insulator) two types of materials. In addition to the planar seal, irregular shaped parts can be sealed as long as different electrode shapes are designed.
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