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阐述了透明导电氧化物材料的研究现状，重点介绍ITO薄膜和靶材的研究进展及ZAO薄膜的研究现状，并就透明导电材料发展的方向及面临的挑战进行了分析讨论．
透明导电氧化物材料的研究现状
【摘 要】
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阐述了透明导电氧化物材料的研究现状，重点介绍ITO薄膜和靶材的研究进展及ZAO薄膜的研究现状，并就透明导电材料发展的方向及面临的挑战进行了分析讨论．
【机 构】
：
广东凯盛光伏技术研究院有限公司,大连交通大学材料科学与工程学院
【出 处】
：
大连交通大学学报
【发表日期】
：
2013年5期
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