新型半导体酒敏器件的研究

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本文介绍了一种新型的SnO_2半导体陶瓷烧结型乙醇敏感气敏元件,并就提高气敏器件分辨率进行了研究。 研制出的新型酒精敏感器件—MQY1。该器件对乙醇气体有很高的灵敏度,具有选择性好、性能稳定等优点。 该器件采用旁热式烧结工艺结构,以SnO_2 In this paper, a new type of SnO_2 semiconductor ceramic sintered ethanol sensitive gas sensor is introduced, and the resolution of gas sensor is studied. Developed a new type of alcohol sensitive device-MQY1. The device has a high sensitivity to ethanol gas, with good selectivity, stable performance and so on. The device uses the next thermal sintering process structure to SnO_2
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