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在半导体行业有据可查的范围中,微污染是对产率影响最大的因素,它让业界每年耗费约10亿美元,但半导体fab对其仍然知之甚少。“尽管半导体产业是一个成熟的产业,但在理解微污染方面仍处于初级阶段,”Grenon Consulting Inc.的Brian J.Grenon指出。据Grenon介绍,雾状缺陷是可见或可印刷的晶体结构,从污染生长而来,已是困扰半导体业界长达十年以上的大问题。半导体制造商们至今还未能提出良好的解决方案。