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波导隔离器用Ce:YIG磁光薄膜的制备
波导隔离器用Ce:YIG磁光薄膜的制备
来源 :磁性材料及器件 | 被引量 : 0次 | 上传用户:maxiao19810628
【摘 要】
:
波导隔离器用Ce:YIG磁光薄膜可由溅射外延或溅射沉积后热处理结晶化两种方法制备。控计了制备过程中不同工艺条件对薄膜结晶性能及磁光特性的影响.
【作 者】
:
黄强
冯则坤
【机 构】
:
华中理工大学固体电子学系,430074
【出 处】
:
磁性材料及器件
【发表日期】
:
1997年4期
【关键词】
:
溅射
铈
YIG
磁光薄膜
波导隔离器
sputtering
Ce :YIG
Faraday rotation
absorption coefficien
【基金项目】
:
国家自然科学基金!69401004
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波导隔离器用Ce:YIG磁光薄膜可由溅射外延或溅射沉积后热处理结晶化两种方法制备。控计了制备过程中不同工艺条件对薄膜结晶性能及磁光特性的影响.
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