【摘 要】
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本文研究了静电偏转器高阶像差在三维空间的微分代数计算.利用有限元方法计算了静电偏转器电场的三维分布,通过三维数据拟合方法构造电磁场分布的三维局部解析式,将电场量转
【机 构】
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西安交通大学电子物理与器件教育部重点实验室 西安710049
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本文研究了静电偏转器高阶像差在三维空间的微分代数计算.利用有限元方法计算了静电偏转器电场的三维分布,通过三维数据拟合方法构造电磁场分布的三维局部解析式,将电场量转化为微分代数扩展数,利用微分代数方法分析计算偏转系统直至五阶的像差.验证了数据拟合方法的精度和可靠性,结果表明该方法具有非常高的精度,完全可以满足工程设计分析的需要.编写了相关的计算软件,具体分析计算了一个八瓣电极偏转器直至五阶的几何像差.
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