【摘 要】
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利用微波等离子体化学气相沉积（MPCVD）方法,在不锈钢衬底上直接沉积碳纳米管膜。研究碳纳米管膜在放电过程中对其场发射性能的影响。通过XPS、Raman光谱等手段,分析碳纳米管膜
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利用微波等离子体化学气相沉积（MPCVD）方法,在不锈钢衬底上直接沉积碳纳米管膜。研究碳纳米管膜在放电过程中对其场发射性能的影响。通过XPS、Raman光谱等手段,分析碳纳米管膜在放电过程中sp2碳和sp3碳含量的变化,对碳纳米管膜场发射性能变化的根源进行研究。结果显示,在放电过程中,碳纳米管膜中sp2碳的含量减少,场发射性能变差。经过分析,我们认为发生这种现象的原因是：发射电子主要是从sp2碳发出的,sp2碳的减少直接影响了发射电子的减少,故其场发射性能降低。
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