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为提高测齿精度，分析了检齿心轴顶尖孔偏心对齿坯基准面和齿圈径跳测量的影响，通过精密测量拟合出检齿心轴两端的径跳曲线，从而获得偏心量的大小和方向，由此导出齿坯基准面偏摆和齿圈径跳测量的误差补偿表达式。最后通过实例测量详细阐述了检齿心轴偏心误差的分离方法与补偿方法。检齿心轴的误差补偿提高了测齿的精确度，为加工和测量1级（ISO1328：1997）精度超精密齿轮做好铺垫。