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用传输线模型对n型AlGaN(n-AlGaN)上Au/Pt/Al/Ti多金属层欧姆接触进行了接触电阻率的测量。在850℃退火5min后，测得欧姆接触电阻率达1.6×10^-4Ω·cm^2。经X射线衍射分析，Au/Pt/Al/Ti/n-AlGaN界面固相反应得出在500℃以上退火过程中，AlGaN层中N原子向外扩散，在AlGaN表面附近形成n型重掺杂层，导致欧姆接触电阻率下降；随退火温度的升高，N原子外扩散加剧，在800℃以上退火在Au/Pt/Al/Ti/n-AlGaN界面形成Ti2N相