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用传输线模型对n型AlGaN(n-AlGaN)上Au/Pt/Al/Ti多金属层欧姆接触进行了接触电阻率的测量。在850℃退火5min后,测得欧姆接触电阻率达1.6×10^-4Ω·cm^2。经X射线衍射分析,Au/Pt/Al/Ti/n-AlGaN界面固相反应得出在500℃以上退火过程中,AlGaN层中N原子向外扩散,在AlGaN表面附近形成n型重掺杂层,导致欧姆接触电阻率下降;随退火温度的升高,N原子外扩散加剧,在800℃以上退火在Au/Pt/Al/Ti/n-AlGaN界面形成Ti2N相