【摘 要】
：
研究了一种新型的谐振式硅微加速度传感器，对其结构和工艺进行设计，并制作出了一系列不同结构和尺寸的这种器件。该加速度传感器在制作支撑梁的同时制作了用于检测信号的谐振梁
论文部分内容阅读
研究了一种新型的谐振式硅微加速度传感器，对其结构和工艺进行设计，并制作出了一系列不同结构和尺寸的这种器件。该加速度传感器在制作支撑梁的同时制作了用于检测信号的谐振梁，并采用电阻热驱动、压阻桥同步检测的方法来获得信号输出。设计方案利用了压阻传感技术和体硅微加工技术，又拥有谐振原理所带来的高分辨率，高稳定性和易于与信号处理电路结合的优点，以较低的成本获得了很高的器件性能。其结构尺寸从３ｍｍ×４ｍｍ到６ｍｍ×６ｍｍ不等。
其他文献
语言与文化之间的密切关系使得英语国家文化成为英语教学的重要内容。而一些学者对部分大学生进行了使用英语转述中国特色文化话题的能力测试。结果表明,大多数受试者不能很
为了解血海穴治疗皮肤病的疗效与机理 ,总结了近十年来有关该专题的文献 ,肯定了针灸血海穴对多种皮肤病具有良效 ,且副作用少。需要注意的是 ,皮肤病病种繁多 ,必须针对不同
蓖麻碱是一种主要存在于蓖麻植株中的生物碱,目前的分离纯化方法有微波提取法、高速逆流色谱法、溶剂提取法等.近年来随着对其提取方法的不断改进,已经可以获得高纯度的蓖麻
庐山发展的现状与其旅游资源品极不相符,与庐山的地缘区位、市场潜能不相符,与国民经济和社会发展的要求不相称。找出为此结合庐山的文化背景制约庐山旅游产业发展的原因和庐
“4P”组合策略是美国营销学大师菲利普.科特勒首创的经典策略,是过程营销的核心技术,在营销手段层出不穷的今天,这一技术也可以算是“长青藤”。在我国,由于市场营销起步较
文章从资源与能力的转换、独具性与持续性以及资源有效整合角度,界定了企业文化竞争力的概念。探讨了企业文化竞争力和企业竞争力之间的关系,从而引出企业文化竞争力的功能,
旅游商品是旅游业的一个重要组成部分,它与旅游吸引物、旅游服务设施、旅游交通共同构成了旅游业的四大支柱。我国旅游商品与旅游业发展速度相比明显滞后,远远低于发达国家的
苏南地区的乡村经济发达,乡村居民生活水平较高,旅游市场潜力巨大。通过对苏南典型乡村居民旅游行为的调查,总结出苏南乡村居民旅游行为规律,并从政府、旅游企业和居民三方面
在跨文化营销的过程中，不同的文化之间相互碰撞，导致了文化冲突的产生。文化冲突阻碍了跨文化营销的顺利进行。探究如何走出跨文化冲突的陷阱，走向国际市场。
本文概述了水性木器涂料的发展现状及基本种类,初步介绍了其树脂乳液和助剂在体系中的应用,讨论了水性木器涂料的优缺点、存在的缺陷及解决方法.