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概述了删硬质薄膜，涂层材料的基本性质、应用及制备技术的发展。介绍了国内外利用磁控溅射法（MS）、空心阴极离子镀（HCD）、多弧离子镀等镀膜工艺制备TiAlN硬质薄膜材料的最新研究进展。TiAlN薄膜应用于切削加工、航空、航天和模具中的优良性能。
TiAlN硬质薄膜/涂层材料的研究进展
【摘 要】
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概述了删硬质薄膜，涂层材料的基本性质、应用及制备技术的发展。介绍了国内外利用磁控溅射法（MS）、空心阴极离子镀（HCD）、多弧离子镀等镀膜工艺制备TiAlN硬质薄膜材料的最新研究进
【机 构】
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北京科技大学冶金与生态工程学院
【出 处】
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硬质合金
【发表日期】
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2008年3期
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