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本文概述了４－４ＢＳ扫描电镜的几例故障分析及排除方法，例如真空系统、扫描电路、电压电源、水冷系统等部分故障。
4—4BS型扫描电镜故障分析与处理
【摘 要】
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本文概述了４－４ＢＳ扫描电镜的几例故障分析及排除方法，例如真空系统、扫描电路、电压电源、水冷系统等部分故障。
【机 构】
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哈尔滨汽轮机厂中央材料试验究所
【出 处】
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现代仪器
【发表日期】
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2000年2期
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