【摘 要】
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栅氧化层变薄的趋势使得栅氧化层制程对IC产品可靠性的影响成为业界关注的焦点之一。在0．18μm工艺的基础上，针对6V器件对应的氧化层，设计了两种不同的栅氧化层生长方式，并对这两
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栅氧化层变薄的趋势使得栅氧化层制程对IC产品可靠性的影响成为业界关注的焦点之一。在0．18μm工艺的基础上，针对6V器件对应的氧化层，设计了两种不同的栅氧化层生长方式，并对这两种方法生长的栅氧化层进行了电压扫描的可靠性测试验证，并结合失效分析的结果对氧化层质量进行了分析。实验结果表明，将湿氧法（WGO）与高温氧化物沉积（HTO）工艺相结合，极大地提高了栅氧化层厚度的均匀性，增强了产品可靠性。
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