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期刊论文
硅压阻传感器稳定性品质的研究
硅压阻传感器稳定性品质的研究
来源 :仪表技术与传感器 | 被引量 : 0次 | 上传用户:gigahunter
【摘 要】
:
根据多年研制硅压阻传感器的经验,定性地归纳和探讨硅压阻传感器稳定性的主要影响因素,并提出相应的预防和解决措施。
【作 者】
:
陈信琦
季安
【机 构】
:
沈阳仪器仪表工艺研究所
【出 处】
:
仪表技术与传感器
【发表日期】
:
1999年8期
【关键词】
:
硅压阻传感器
稳定性
传感器
Diffased Si
Prezoresistive Sensor
Stability
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根据多年研制硅压阻传感器的经验,定性地归纳和探讨硅压阻传感器稳定性的主要影响因素,并提出相应的预防和解决措施。
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