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期刊论文
薄膜压电性能的测量方法
薄膜压电性能的测量方法
来源 :产业与科技论坛 | 被引量 : 0次 | 上传用户:jnd411525477
【摘 要】
:
压电薄膜在微传感器和微致动器方面的应用日益受到重视。薄膜压电性能的测量方法与体材相比有很大不同。本文介绍了几种测量薄膜压电特性的方法,包括:激光干涉仪法,扫描探针显
【作 者】
:
陈晓杰
【机 构】
:
南京邮电大学通达学院
【出 处】
:
产业与科技论坛
【发表日期】
:
2014年13期
【关键词】
:
压电薄膜
压电性能
测量方法
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压电薄膜在微传感器和微致动器方面的应用日益受到重视。薄膜压电性能的测量方法与体材相比有很大不同。本文介绍了几种测量薄膜压电特性的方法,包括:激光干涉仪法,扫描探针显微镜法,垂直加载法等,并比较了这些方法的优缺点。
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