金属氧化膜电阻器电阻温度系数的改善

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导致金属氧化膜电阻器失效的主要因素是膜层结构变化、电解和接触部分老化,为了减少失效、改善电阻温度系数a,在生产实践中控制工艺参数是关键工序的质量,其中重点是镀膜。通过调整镀膜材,H靶,a从大于150×10^-8C^-1调整在±60×10^-6℃^-之内;F靶:a从大于200×10^-6℃^-1调整在±120×10^-6℃^-1之内,提高了金属氧化膜电阻器的可靠性。
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