用于射频无线通信的MEMS器件

来源 :光机电信息 | 被引量 : 0次 | 上传用户：fromgz

【摘要】

：

无线通信的发展已成为推动半导体工业发展的真正动力,许多半导体公司为了在这一领域占有一席之地正大力开发微电机械系统(MEMS).实现目标的途径之一是设计出可集成无源器件的

【作者】

：

鞠挥

【出处】

：

光机电信息

【发表日期】

：

2003年6期

【关键词】

：

微电机械系统 MEMS器件射频无线通信无线通信半导体器件光刻

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

无线通信的发展已成为推动半导体工业发展的真正动力,许多半导体公司为了在这一领域占有一席之地正大力开发微电机械系统(MEMS).实现目标的途径之一是设计出可集成无源器件的方法,这些器件占当今无线手机中所用器件的70%.研究人员目前正努力开发芯片集成技术,MEMS技术便是其中的重要组成部分.MEMS已用于开关、滤波器、局域振荡器、可调电容器及高品质因数电感线圈等.制作这些器件的光刻条件与那些标准的在极端复杂的表面上进行的半导体制造工艺大相径庭.本文讨论了制作这些器件的难点以及一些经证明可以满足要求的制作方法.

其他文献

用光刻工艺生产近红外三维光子晶体

剑桥马萨诸塞理工学院的科学家们在硅中发现了一种带有点缺陷的三维光子晶体，并证明该晶体在光通信波长附近呈现共振特性。

期刊

光子晶体光刻工艺光通信近红外点缺陷三维波长证明发现

保障劳动就业中女性的平等权利

在各国女性维权运动的发展潮流中,我国也顺应历史发展趋势倡导和谐社会,两性关系平等,女性在就业权利保障上存在的问题急需解决,借鉴国外经验固然重要,但更重要的是结合我国

期刊

劳动就业歧视性别平等

可调谐密集波分复用激光器

期刊

NEWFocus公司可调谐密集波分复用激光器台式分布反馈