压阻式加速度传感器动态特性及相关因素的分析

来源 :黑龙江大学自然科学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:stenvenxin123
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本文针对压阻式加速度计的特点,采用了数、力分析方法,引入传递函数的概念,建立了压阻式加速度计动态特性的基本模型。结合实际对传感器的幅频和相频特性进行了必要的分析,并以三维加速度计为例,说明了结构参数对传感器性能的影响。 In this paper, the characteristics of piezoresistive accelerometer, using the number of force analysis method, the introduction of the concept of transfer function, established a piezoresistive accelerometer dynamic characteristics of the basic model. The amplitude and phase frequency characteristics of the sensor are analyzed with the actual situation. Taking the three-dimensional accelerometer as an example, the influence of structural parameters on the performance of the sensor is illustrated.
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