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现已开发了一种简单技术可对各种前级泵暴露到氦气后恢复时间作比较，试验中使用了一种回流型配置，以控制氦气质量流量的方式向前级泵提供已知的气体负载。此前级泵是涡轮分子泵的前级。使用四极质谱仪测量涡轮分子泵上方的氦浓度。
前级泵中氦气滞留的测量
【摘 要】
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现已开发了一种简单技术可对各种前级泵暴露到氦气后恢复时间作比较，试验中使用了一种回流型配置，以控制氦气质量流量的方式向前级泵提供已知的气体负载。此前级泵是涡轮分子泵
【出 处】
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四川真空
【发表日期】
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1999年2期
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