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MEMS技术的发展与应用
MEMS技术的发展与应用
来源 :半导体技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:Ben_Chen111
【摘 要】
:
主要介绍了MEMS技术的背景、分类、应用、发展趋势.
【作 者】
:
朱健
【机 构】
:
东南大学仪器科学与工程系
【出 处】
:
半导体技术
【发表日期】
:
2003年1期
【关键词】
:
微机电系统
微机械加工
应用
MEMS
micromachining processes
application
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主要介绍了MEMS技术的背景、分类、应用、发展趋势.
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