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从热力学分析中论述了ＴｉＣｌ３与Ｎ２在低温下反应形成ＴｉＮ的可行性、并通过ＴｉＣｌ３的制备及沉积试验，在４５０－６００℃温度范围内在钢基材上获得了ＴｉＮ的涂层。文中对实验装备与试验过程作了简介，对钢基工模具上应用ＴｉＮ涂层将起到积极作用。
用TiCl3低温化学气相沉积TiN的实验研究
【摘 要】
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从热力学分析中论述了ＴｉＣｌ３与Ｎ２在低温下反应形成ＴｉＮ的可行性、并通过ＴｉＣｌ３的制备及沉积试验，在４５０－６００℃温度范围内在钢基材上获得了ＴｉＮ的涂层。文中对实验装备与试验过程作了简介，对钢基工模具上应用ＴｉＮ涂
【机 构】
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武汉冶金科技大学
【出 处】
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表面技术
【发表日期】
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1997年1期
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