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期刊论文
用补偿器测量非球面的研究
用补偿器测量非球面的研究
来源 :光学精密工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户:jinhuikkkl
【摘 要】
:
重点讨论用零补偿器测量光学非球面表面面形精度的方法,并通过补偿器的光学设计,具体分析了各参数要素对测量精度的影响,最后给出在非球面数控加工不同阶段中对直径500mm,f/2的双曲面主镜
【作 者】
:
张忠玉
余景池
【机 构】
:
中国科学院长春光学精密机械研究所
【出 处】
:
光学精密工程
【发表日期】
:
1999年1期
【关键词】
:
零补偿器
非球面
光学检测
光学系统
数控加工
Null corrector
Aspheric surface
Optical testing
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重点讨论用零补偿器测量光学非球面表面面形精度的方法,并通过补偿器的光学设计,具体分析了各参数要素对测量精度的影响,最后给出在非球面数控加工不同阶段中对直径500mm,f/2的双曲面主镜的检测结果。
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