【摘 要】
：
高纯气体中水汽含量是半导体工业生产中的一个重要参数,气体中残余水汽含量即使是ppbv量级也会对产品质量产生影响。气体在中红外区域具有更丰富的特征谱线,在该区域对水汽含
【机 构】
：
中国科学院光电技术研究所,中国科学院大学,电子科技大学光电信息学院
论文部分内容阅读
高纯气体中水汽含量是半导体工业生产中的一个重要参数,气体中残余水汽含量即使是ppbv量级也会对产品质量产生影响。气体在中红外区域具有更丰富的特征谱线,在该区域对水汽含量进行检测十分必要。宽调谐范围、高输出功率和窄线宽量子级联激光器的快速发展,推动了该区域红外光谱检测技术的发展。首次在中红外波段,采用5.2μm可调谐量子级联激光器,基于连续光腔衰荡光谱技术建立了痕量水汽的检测装置,并开展了痕量水汽检测实验。通过阿伦方差分析系统噪声水平,确定了光腔衰荡信号最优平均次数为602次。根据HITRAN数据库,模拟实验条件下1 9051 925cm-1范围内水汽的吸收截面,选取最佳的检测谱线位置。在常压和室温下,对1 918cm-1附近的水汽吸收光谱进行测量,测定高纯氮气中的痕量水汽浓度,检测结果与标称值一致。在腔镜反射率为99.93%时水汽的检测灵敏度达到24.8ppbv。分析结果表明,中红外高灵敏痕量气体检测技术在工业监测、环境检测以及医学诊断等领域具有很好的应用前景。
其他文献
目的:探讨PDCA循环法(PDCA)联合以问题为基础教学(PBL)模式应用于医学影像学带教的教学效果。方法:将我院2018年7月至2019年6月间的116名医学影像学本科生按学号分为对照组和
本文采用标准木和回归分析法（乔木层）及样方收获法（灌木层，草本层）研究了黑石顶自然保护区南亚热带常绿阔叶林的生物量及其分配规律。１．四种回归模型：（ａ）Ｙ＝ａ＋ｂＸ，（ｂ）Ｙ＝ａＸ＾ｂ，（ｃ）Ｙ＝ａｃ＾ｂｘ，（ｄ）Ｙ＝ａ＋ｂｌｎＸ都能成功地应用于该森林的生物量
目的:探析股骨头坏死诊断中CT影像诊断的价值。方法:选取本院2019年1月至2019年10月入院治疗的77例股骨头坏死患者为观察对象,分别实施X线检查与CT影像诊断,比较两种诊断方式
<正> 0 前言长兴发电厂4号机是由上海汽轮机厂制造的第79台125MW中间再热式汽轮机。1991年12月整机竣工后机组启动时,汽轮机供油系统产生了严重的故障。因此,延迟了机组启动
向量,既有大小、又有方向,此前学过的数学中,我们可从未见过这样的量.但是,在现实世界中大量存在着这样的量:力、速度、电场、磁场……我们都较为熟悉,向量已是近代数学重要
近年来,因雾霾问题使其前驱物VOCs(挥发性有机物)逐渐受到重视,本文便从VOCs的定义出发,深入浅出的介绍VOCs为何对人体的危害及其相关监测方法,透过此文可了解为何要监测VOCs
所有的视觉活动都影响着受众对于一个设计作品的判断,这也对视觉设计者对作品的把控带来一定程度的影响。阿恩海姆认为“思想是借助于一种更加适合的媒介——视觉意象——进
[目的]分析综合医院疑似肺结核病人报告、转诊、追踪和定诊情况,探讨提高涂阳肺结核病人发现措施。[方法]根据2005年6月～2006年5月,60个FIDELIS项目县结核病控制工作月报表和F
非连续性文本作为文本的一种类型，它既具有文本的基本共性，但在语言和结构的组合上又区别于其他文本形式。非连续性文本又称“间断性文本”，是相对于以句子和段落组成的“连续性文本”而言的阅读材料，它以文字、统计图表、图画等形式呈现，这些材料从不同角度呈现事物或主题，单独看是完整的，合在一起又能够综合地表达意义。其特点是直观、简明，概括性强，易于比较，实用性特征明显。学会从非连续文本中获取我们所需要的信息，
目的:分析颈动脉彩超用于2型糖尿病颈动脉病变检测中的临床价值。方法:在2019年1月至2019年12月期间收治的2型糖尿病患者42例以及健康体检患者41例,前者为观察组,后者为对照