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期刊论文
阳极真空电弧镀膜技术
阳极真空电弧镀膜技术
来源 :微细加工技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:df6b1
【摘 要】
:
本文介绍了一种新的薄膜沉积方法-阳极真空电弧镀膜法,针对典型的镀膜装置,描述了其结构组成,分子它的工作原理,并对其应用前景进行了一些论述与展望。
【作 者】
:
王浩
【机 构】
:
五邑大学教学物理系
【出 处】
:
微细加工技术
【发表日期】
:
1997年2期
【关键词】
:
薄膜沉积
阳极真空电子弧
VAC技术
thin film deposition
anodic vacuum arc
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本文介绍了一种新的薄膜沉积方法-阳极真空电弧镀膜法,针对典型的镀膜装置,描述了其结构组成,分子它的工作原理,并对其应用前景进行了一些论述与展望。
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