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本文介绍了一种新的薄膜沉积方法－阳极真空电弧镀膜法，针对典型的镀膜装置，描述了其结构组成，分子它的工作原理，并对其应用前景进行了一些论述与展望。
阳极真空电弧镀膜技术
【摘 要】
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本文介绍了一种新的薄膜沉积方法－阳极真空电弧镀膜法，针对典型的镀膜装置，描述了其结构组成，分子它的工作原理，并对其应用前景进行了一些论述与展望。
【机 构】
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五邑大学教学物理系
【出 处】
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微细加工技术
【发表日期】
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1997年2期
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