【摘 要】
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首次利用渐进因子分析法研究了Ｔａ２Ｏ５／Ｔａ样品的俄歇深度剖析过程，获得了样品Ｔａ的三种不同化学态Ｔａ、Ｔａ２Ｏ５和ＴａＯ５，并发现Ｔａ２Ｏ５薄膜中经Ａｒ＾＋离子束轰击后产生的亚稳态产物ＴａＯｘ的ｘ值为１．６，含量接近４０％，Ｔａ２Ｏ５薄膜在深度剖析中示分离出
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首次利用渐进因子分析法研究了Ｔａ２Ｏ５／Ｔａ样品的俄歇深度剖析过程，获得了样品Ｔａ的三种不同化学态Ｔａ、Ｔａ２Ｏ５和ＴａＯ５，并发现Ｔａ２Ｏ５薄膜中经Ａｒ＾＋离子束轰击后产生的亚稳态产物ＴａＯｘ的ｘ值为１．６，含量接近４０％，Ｔａ２Ｏ５薄膜在深度剖析中示分离出离态的Ｔａｄdisplay structure
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