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以迈克耳孙干涉仪的光路为基础，利用CCD实时采集干涉条纹的光强信息，通过精确测量条纹钓偏移量，测出物体的微位移．与传统微位移测量方法相比，He-Ne激光器、CCD等器件的使用和FFT、互相关运算等信号处理方法的运用，使得测量精度和灵敏度有较大提高，借助虚拟仪器手段还实现了微位移的全自动测量．
采用光电计数的激光微位移测量实验系统
【摘 要】
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以迈克耳孙干涉仪的光路为基础，利用CCD实时采集干涉条纹的光强信息，通过精确测量条纹钓偏移量，测出物体的微位移．与传统微位移测量方法相比，He-Ne激光器、CCD等器件的使用和FFT、
【机 构】
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电子工程学院
【出 处】
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物理实验
【发表日期】
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2009年9期
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