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报导了一种集成MEMS的光接收器件的10 Gb/s雪崩光电二极管,并介绍了10 Gb/s APD-TIA的结构和基本特点.对衰减器进行了性能测试,所得到的特性曲线表明其衰减随所加电压变化而变化.集成MEMSVOA接收器的动态范围至少增加了50％达到13 dB,这个结果对密集波分复用系统中的应用非常理想,同时对高速通信系统中的信号改变是一种有效的补偿方式.本文报导了传输速率10 Gb/s带衰减器的雪崩光电二极管光接收器的眼图和测试结果,能够获得-26.5 dBm的灵敏度和清晰的眼图.