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国产半导体设备尽管已经开始进入大生产线，但客观而论，相较于进口设备，国产设备的信誉度还远未到让人放心使用的程度。为此，致力于匀胶显影设备研制与生产的沈阳芯源先进半导体技术有限公司则以“全过程的持续改进和产品质量的得升来赢得客户信赖”。
宗润福：可靠性是目前国产半导体设备的立足点
【摘 要】
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国产半导体设备尽管已经开始进入大生产线，但客观而论，相较于进口设备，国产设备的信誉度还远未到让人放心使用的程度。为此，致力于匀胶显影设备研制与生产的沈阳芯源先进半导体技
【出 处】
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集成电路应用
【发表日期】
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2007年4期
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