智能化机器:MEMS推动的第三次革命

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Vijay Ullal表示,摩尔定律在MEMS领域将不再适用,某个具备质量的物体是无法按照摩尔定律阐述的规律将体积缩小和提高集成度的。MEMS系统集成度的提高途径会与传统晶体管迥异,将主要通过空间的三维集成方式。
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