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就真空镀膜设备中应用磁流体密封技术的若干问题进行了探讨
Some issues about the application of magnetic fluid sealing technology in vacuum coating equipment are discussed
真空镀膜设备用磁流体密封组件设计使用中的若干问题探讨
【摘 要】
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就真空镀膜设备中应用磁流体密封技术的若干问题进行了探讨
Some issues about the application of magnetic fluid sealing technology in vacuum coating equipment are d
【机 构】
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中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司 辽宁沈阳110004
【出 处】
：
真空
【发表日期】
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2004年01期
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