【摘 要】
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用原子力显微镜对粗糙硅表面进行了形貌测量，发现其高度分布的各向异性，根据光场分布特点，结合晶片样品表面的散射方位曲线，在入射角是75°的情况下，沿着散射方位曲线测量了样
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目（1674085）.
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用原子力显微镜对粗糙硅表面进行了形貌测量，发现其高度分布的各向异性，根据光场分布特点，结合晶片样品表面的散射方位曲线，在入射角是75°的情况下，沿着散射方位曲线测量了样品表面的光散射轮廓，引入自仿射分形随机表面模型，利用傅立叶变换法对光的散射轮廓进行定量分析，成功提取了随机表面参量，并与在原子力显微镜下测量样品表面高度分布经计算所得的数据相比较，验证所得参量的正确性．
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