空间域相位调制干涉仪用于微位移测量

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本文从波动光学的干涉理论出发,描述了空间域相位调制干涉测量位移的原理。给出干涉仪的系统构成原理。比较空间域相位调制与时间域相位调制的异同点。指出空间域相位调制的特点。提出空间域相位调制干涉仪的两种工作状态,即单条纹和双条纹工作状态。最后给出位移测量结果。
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