【摘 要】
：
批间控制是半导体批次生产过程中常用算法,其关键问题在于能够及时获取上一批次的制程输出,受测量手段及其成本限制,实际的生产制程很难满足这一要求.为此,本文提出一种基于
论文部分内容阅读
批间控制是半导体批次生产过程中常用算法,其关键问题在于能够及时获取上一批次的制程输出,受测量手段及其成本限制,实际的生产制程很难满足这一要求.为此,本文提出一种基于贝叶斯统计分析的测量时延估计算法.在分析晶圆质量与实测时延、估计时延、以及制程漂移之间的逻辑关系的基础上,并将晶圆的质量信息按加工时间顺序划分两个相邻的滚动时间窗口.基于贝叶斯后验概率函数,及时捕获后一个滚动时间窗口内过程输出发生漂移的概率,从而判断是否有测量时延发生,并估算该时延大小.在此基础上,给出批间控制器的测量时延补偿策略,及时调整制程
其他文献
深部大变形巷道的锚杆支护问题是目前煤炭开采领域科学研究的热点之一.简要总结了传统的锚杆支护理论和近年来国内外学者专家提出的深部巷道支护新理论和新技术,介绍了本团队
数学作为小学重要课程之一,其教学质量关系着小学生课堂学习能力与实践应用能力的培养.因而,怎样加强小学数学课堂教学质量成为数学教师深入研究的问题.根据相关调查结果,小
分析高中生物教学的现状以及存在的问题,并结合实际探究高中生物教学的优化策略,促进高中生物教学的发展。
二氧化碳排放量的急剧上升引起全球温室效应加剧。碳酸酐酶是地球上反应速率最快的几种酶之一,可以大幅提高CO2捕获和生物矿化的效率,从而降低大气中CO2的排放量。但捕获过程
当前,在建筑工程的具体施工过程中可以很明显的看出,铝合金门窗是应用最为广泛的一类门窗,它能够为用户提供更宁静舒适的室内环境,从根本上有效满足可持续发展的基本要求。而
高职院校应充分利用大学生思想政治教育这个主要载体,将中华优秀传统文化有效地融入大学生思想政治教育中。本文对中华优秀传统文化融入高校思想政治教育的价值,以及二者融合
随着雷达技术的不断创新与发展,未来雷达向着分布式架构、智能化处理、光电系统、多传感器和海陆空天多平台联合探测方向发展。雷达技术的发展趋势对综合信息处理系统提出了更高的要求,要求综合处理系统必须满足多功能、可.重构、多通道、高带宽和精细化处理的需要,同时应能保证雷达任务的长期连续性稳定工作。为了满足雷达信息处理系统高带宽、强实时性和高可靠性的工作需求,对于雷达信息处理系统工作状态的及时完备监测是必要
<正>学校教育总需要一定的空间,教室的规模也基本固定,教室布置不仅仅是一种教育方式,更体现着教育理念的变革。相信通过这种变革,学校教育能够关注学生的空间体验,满足学生
全球价值链（GVC）指为实现商品或服务价值而连接生产、销售、回收处理等过程的全球性跨企业网络组织，一国在全球价值链中的地位直接反映了其综合经济贸易实力的强弱。中国正处于
1日粮纤维的种类日粮纤维是结构性多糖、非结构性多糖、木质素,以及一部分细胞壁镶嵌蛋白质和矿物质等组成的不均一混合物,是非淀粉多糖（NSP）和木质素的总和。NSP中的β-葡聚糖