【摘 要】
：
设计了一种侧向场激励剪切波模式的薄膜体声波(FBAR)压力传感器,利用COMSOL Multiphysics有限元仿真软件构建了传感器的三维模型并添加了压电效应多物理场耦合,得到了FBAR压
【机 构】
：
中北大学,中北大学,四川大学电气信息学院
【基金项目】
：
国家自然科学基金项目(51675493)
论文部分内容阅读
设计了一种侧向场激励剪切波模式的薄膜体声波(FBAR)压力传感器,利用COMSOL Multiphysics有限元仿真软件构建了传感器的三维模型并添加了压电效应多物理场耦合,得到了FBAR压力传感器的位移分布以及谐振频率与响应电压的关系。进一步,模拟了FBAR压力传感器在生理盐水和血液两种液体环境下谐振频率的变化情况。在对FBAR压力传感器施加不同压力条件下,谐振频率逐渐发生改变。通过计算得到该FBAR压力传感器在生理盐水和血液中的压力敏感度分别为480、337. 5 Hz/kPa。验证了FBAR压力传感器在液体环境中的可用性,为应用于液体环境中的压力检测提供了可靠的理论基础。
其他文献
为满足高校学生多样化学习需要,立足创新教学模式等方面,阐述了市场营销精品开放课程建设的意义及思路,在此基础上,提出了明确课程定位、构建课程体系,创新教学方法,丰富课程
3D打印技术在产品设计与制造领域的应用与发展,打破了近百年的制造工业模式,终将促使设计与生产工具实现真正的分离,从而促进设计大众化的进一步发展与社会化设计趋势的形成.
结合多年从事司法审判工作的实践,对当前中国法治建设中面临的十个主要问题进行慎重的理论思考。这些问题分别是:法治国家建设的路径选择,法律规范供给难题的破解,法律系统公
托马斯·品钦(1937—)可算是当代美国文坛上的一大奇人,其奇有三.“奇”一是他的遁世隐居,激流勇退.发表了第一部成名之作《V》(1963)之后,便不再见诸新闻报刊,据说时至今日,
巴西仓库剧院的《水渍》曾在2017年乌镇戏剧节上惊艳亮相,几乎无一差评。今年,由保罗·玛瑞尔斯(Paulo de Moraes)执导的《哈姆雷特》于九月下旬登陆上海1862时尚艺术中
[目的/意义]旨在为高校人才培养、人才就业等有关部门提供参考。[方法/过程]用自然语言处理方法对中文招聘文本分词并构建岗位、技能词典,提取文本中岗位-技能实体并构建网络
在pH4.0的Britton-Robinson（B-R）缓冲体系中,应用循环伏安法和示差脉冲伏安法对大黄素甲醚与牛血清白蛋白（BSA）相互作用的电化学性质进行研究。结果表明,二者结合生成了一种非电
采用同时蒸馏萃取(SDE)法结合气相色谱-质谱联用(GC-MS)技术,对缫丝蚕蛹和鲜蚕蛹中的挥发性成分进行分析与比较。结果表明:从缫丝蚕蛹中鉴定出54种主要挥发性化合物,分子质量
美国著名作家托马斯·品钦进入中国研究界已经是上世纪70年代末的事了。在批评话语从全盘模仿到逐渐完善的漫长过程中,品钦研究经历了失语、遮蔽、单维、多维研究的曲折发展
概述了 TiAl 基合金的气体渗碳、等离子渗碳、碳元素激光表面合金化、渗铝、气体渗氮、离子渗氮、氮元素激光表面合金化、离子注入B,C,N,O、酸处理、低氧压处理、涂层、渗硼