【摘 要】
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针对硅基微机械加速度计零偏往往随温度改变而漂移的问题,设计了一种新型的温度补偿电路. 通过理论研究和实验测试,发现微机械加速度计谐振频率与温度呈现非常好的线性关系.
【出 处】
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天津大学学报(自然科学与工程技术版)
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针对硅基微机械加速度计零偏往往随温度改变而漂移的问题,设计了一种新型的温度补偿电路. 通过理论研究和实验测试,发现微机械加速度计谐振频率与温度呈现非常好的线性关系.谐振频率与表头弹性梁的弹性系数的二次方根呈正比关系,而温度对于弹性系数的影响主要有3 方面：弹性模量随温度的改变、机械热膨胀和热应力.通过Matlab 数值仿真的方法,仿真和模拟了加速度计表头固有谐振频率与温度的关系,该仿真结果与实验测试结果符合得很好.基于以上分析,提出了一种新型温度补偿电路,通过在FPGA 中设计数字锁相环模块实时检测和跟踪
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