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吉时利(Keithley)仪器公司发布了用于半导体生产过程中参数测试的第三代晶圆射频(RF)测量功能，能提供连续、自动、实时的测试质量监控，在提供优等质量结果的同时，也获得了最高测量产能、最低运行成本，以及易于使用的特点。此外，吉时利公司的射频参数测量选件适合于200mm和300mm的半导体参数射频(RF)测试系统，适用于包括高性能逻辑电路生产和高性能模拟集成电路生产。