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采用改进的sol—gel法在Pt／Ti／SiO2／Si衬底上制备PZT，PT复合薄膜（共10层），PT的层数分别为2，4，6和8层。结果表明，600℃热处理的PZT，PT复合薄膜为钙钛矿结构，无第二相。随着PT厚度的增加，￡，变小，100kHz时为313～228。tgδ在频率低于100kHz时，不随PT厚度变化，为0．015左右；频率为100kHz～1MHz时，PZT6／PT4tgδ最大，1MHz时仍小于0．06。