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采用改进的sol—gel法在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备PZT,PT复合薄膜(共10层),PT的层数分别为2,4,6和8层。结果表明,600℃热处理的PZT,PT复合薄膜为钙钛矿结构,无第二相。随着PT厚度的增加,£,变小,100kHz时为313~228。tgδ在频率低于100kHz时,不随PT厚度变化,为0.015左右;频率为100kHz~1MHz时,PZT6/PT4tgδ最大,1MHz时仍小于0.06。