GaSb衬底上分子束外延生长的低温GaSb薄膜的低缺陷表面

来源 :红外与毫米波学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：javaname39

【摘要】

：

系统地研究了随着GaSb薄膜生长温度的降低,Sb/Ga（V/III）比的变化对薄膜低缺陷表面质量的影响.为了获得良好表面形貌的GaSb外延层,生长温度与V/III比均需要同时降低.当Sb源裂解

【作者】

：

郝瑞亭任洋刘思佳郭杰王国伟徐应强牛智川

【机构】

：

云南师范大学太阳能研究所、可再生能源材料先进技术与制备教育部重点实验室、云南省农村能源工程重点实验室,中国科学院半导体研究所半导体超晶格国家重点实验室,中国科学技术大学量子信息与量子科技前沿协同创新中

【出处】

：

红外与毫米波学报

【发表日期】

：

2017年2期

【关键词】

：

低缺陷锑化镓原子力显微镜 V/III比 low-defect GaSb AFM V/III

【基金项目】

：

Supported by National Natural Science Foundation of China （11474248, 61176127, 61006085, 61274013, 61306013 ）, Key Program for International S＆T cooperation Projects of China （ 2011DFA62380 ）, and Ph.

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

系统地研究了随着GaSb薄膜生长温度的降低,Sb/Ga（V/III）比的变化对薄膜低缺陷表面质量的影响.为了获得良好表面形貌的GaSb外延层,生长温度与V/III比均需要同时降低.当Sb源裂解温度为900℃时,生长得到低缺陷表面的低温GaS b薄膜的最佳生长条件是生长温度为在再构温度的基础上加60℃且V/III比为7.1.

其他文献

粤北长塘盆地晚白垩世早期流纹岩的成因：地球化学和Sr-Nd-Pb-Hf-O同位素制约

长塘流纹岩为“大量流纹岩-少量玄武岩”构成的不对称双峰式火山岩组合的酸性端元,前人对年代学研究认为是目前华南识别的燕山期最年轻的流纹岩（SHRIMP年龄96.8 Ma）,但在岩石地

期刊

流纹岩晚白垩世早期Sr-Nd-Pb-Hf-O同位素新生下地壳长塘盆地rhyolite early Late Cretaceous Sr-Nd-Pb-H

观察阿托伐他汀对冠心病患者血管内皮及血脂的影响

目的探讨阿托伐他汀对冠心病患者血管内皮及内酯的影响。方法随机选取本院2013年6月～2014年12月收治的冠心病患者74例作为研究对象,给予患者20 mg/d阿托伐他汀进行治疗,持续治

期刊

冠心病血脂血管内皮功能阿托伐他汀效果观察

城市污水系统的硫化氢腐蚀及控制

城市污水系统的硫化氢腐蚀及控制１硫化物的产生一些工业废水如未经过适当的预处理，将含有一定的硫化物，而这种直接的硫化物仅占污水系统中硫化物的一小部分。城市污水中都含有不

期刊

硫酸盐还原菌产生率城市污水系统硫化物硫化氢腐蚀

变电站（厂）用蓄电池组中常见问题及解决对策

在电力系统中蓄电池作为独立电源的地位非常重要,它是电力系统安全运行的保障。因此,蓄电池的好坏显得非常关键。现今蓄电池使用大部分是密封封铅酸蓄电池,它为电力系统带来

期刊

蓄电池使用维护问题建议

浅谈英语课堂教学中学生自主学习兴趣的培养

回回产卜爹仇贱回——回日E回。”。回祖一回“。回干肉果幻中 N_。NH lP7-ewwe--一”＄ MN。W;- __._——————》砧叫]们羽制作:陈恬’＃陈川个美食 Back to yield

期刊

英语课堂自主学习兴趣培养

以高层次应用人才培养为目标的农科专业硕士培养模式研究

深化农业院校农业专业学位研究生教育改革,提高农业院校教育质量和人才培养质量,是新农科背景下全力推进卓越农林人才培养的关键之一。文章针对当前农业院校农业专业研究生教

期刊

农业专业硕士研究生应用人才培养模式

自媒体时代高校网络思想政治教育对策研究

期刊

自媒体高校网络思想政治教育

第十届全国地质与地球化学分析学术报告会暨第四届全国地质与地球化学分析青年论坛胜利召开

8月末的哈尔滨凉爽怡人,清风将人们从南方烈日下带过来的酷热与狂躁都赶走了。由中国地质学会主办,岩矿测试技术专业委员会承办、国家地质实验测试中心协办的第十届全国地质

期刊

中国地质学会地球化学分析学术报告会论坛分析测试中心技术专业委员会环境保护中国科学院

针灸联合冲击波治疗髌腱末端病

目的观察传统针灸技术联合冲击波疗法治疗髌腱末端病在专业运动队中的疗效。方法选取患髌腱末端病的专业运动员32例,均采取近端加循经取穴并配合远端取穴针灸法联合体外冲击

期刊

髌腱末端病针灸冲击波

热管式空气预热器热经济分析

热管式空气预热器热经济分析山西省电力职工大学邱丽霞，贾春生现代火力发电厂锅炉主要采用两种形式的空气预热器：回转式和管式。运行经验表明这两种型式的空气预热器各有一定的

期刊

锅炉空气预热器热管式预热器

GaSb衬底上分子束外延生长的低温GaSb薄膜的低缺陷表面

与本文相关的学术论文