快速热处理法制备单晶硅太阳能电池

来源 :材料热处理学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zb280048797
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利用快速热处(Rapid Thermal Processing,RTP)技术,成功制备了单晶硅太阳电池。在三个重要的热处理环节(磷扩散制作P—N结、热氧化、电极烧结)采用了快速热处理法,电极制作采用了丝网印刷。初步研究,用大面积的单晶硅片制备出转换效率为11%、开路电压为564.6mV、短路电流密度为30.7mA/cm^2的太阳电池。
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