【摘 要】
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采用溶胶-凝胶法,在玻璃衬底上制备出Al-Y共掺杂的ZnO透明导电薄膜.X射线衍射(XRD)表明,Al-Y共掺杂ZnO透明导电薄膜为六角纤锌矿结构的多晶薄膜,且具有C轴择优取向.制备的Al-
【机 构】
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中山大学光电材料与技术国家重点实验室//物理科学与工程技术学院,广东广州,510275中山大学光电材料与技术国家重点实验室//物理科学与工程技术学院,广东广州 510275;山东大学晶体材料国家重点实
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采用溶胶-凝胶法,在玻璃衬底上制备出Al-Y共掺杂的ZnO透明导电薄膜.X射线衍射(XRD)表明,Al-Y共掺杂ZnO透明导电薄膜为六角纤锌矿结构的多晶薄膜,且具有C轴择优取向.制备的Al-Y共掺杂ZnO薄膜电阻率最小值为1.63×102Ω·cm,在可见光区(400 - 800 nm)平均透过率超过85％.
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