基于AFM检测信息存储介质表面结构的研究

来源 :微纳电子技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：airbter

【摘要】

：

介绍了原子力显微镜(AFM)的工作原理、组成、特点及其应用领域.利用AFM对光盘和软盘表面结构进行了三维检测,使用CSPM2000 Imager软件对扫描得到的图像进行了计算和分析,由所

【作者】

：

闫勇刚马强黄俊杰刘万里孙大许梁智永

【机构】

：

河南理工大学精密工程研究所

【出处】

：

微纳电子技术

【发表日期】

：

2005年3期

【关键词】

：

原子力显微镜信息存储介质光盘软盘检测 AFM storage medium optical disk floppy disk detection

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介绍了原子力显微镜(AFM)的工作原理、组成、特点及其应用领域.利用AFM对光盘和软盘表面结构进行了三维检测,使用CSPM2000 Imager软件对扫描得到的图像进行了计算和分析,由所得数据可以看出,DVD光盘将取代CD光盘成为外存的主流,而软盘将被淘汰;利用原子力显微镜对单晶硅进行基于金针的纳米加工,刻蚀出"河南理工大学"的字样.

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