【摘 要】
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建立液滴在RF(高频感应)等离子体射流中的运动蒸发模型,模拟前驱体液滴的蒸发、传热和传质。通过时变系统控制方法的质量守恒方程、动量守恒方程和能量守恒方程来预测射频电
【基金项目】
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上海市教委科研创新基金重点项目(项目编号:13ZZ119)
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建立液滴在RF(高频感应)等离子体射流中的运动蒸发模型,模拟前驱体液滴的蒸发、传热和传质。通过时变系统控制方法的质量守恒方程、动量守恒方程和能量守恒方程来预测射频电感耦合等离子体内液滴的运动和蒸发,得到了液滴半径和液滴表面温度的变化以及液滴内部温度分布。研究结果表明:随着液滴初始尺寸的增大,在热等离子体低温区的停留时间越长,液滴表面缓慢而均匀的受热,因此表面溶质浓度到达饱和浓度的时间较长,半径变化率变小。液滴初始入射速度越大,所经历的环境温度越高,液滴表面蒸发速度越快,半径变化越小,溶质结晶析出所需时间越短。
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