【摘 要】
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本文采用恒定电流应力的ＱＢＤ测试来描述超薄隧道氧化层的质量。Ｅ２ＰＲＯＭ失效的内在机理是由于隧道氧化层中的电荷陷阱。并同时绘出了ＱＢＤ的测试方法。测试表明，使用８ｎｍ隧道氧化层，ＱＢＤ＞５Ｃ／ｃｍ２时，可获得高质量的
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本文采用恒定电流应力的ＱＢＤ测试来描述超薄隧道氧化层的质量。Ｅ２ＰＲＯＭ失效的内在机理是由于隧道氧化层中的电荷陷阱。并同时绘出了ＱＢＤ的测试方法。测试表明，使用８ｎｍ隧道氧化层，ＱＢＤ＞５Ｃ／ｃｍ２时，可获得高质量的Ｅ２ＰＲＯＭ电路，擦／写次数可超过１００万次。
In this paper, constant current stress QBD test to describe the quality of ultra-thin tunnel oxide layer. The intrinsic mechanism of E2PROM failure is due to charge traps in tunnel oxide. And at the same time draw QBD test method. Tests show that the use of 8nm tunnel oxide layer, QBD> 5C / cm2, access to high-quality E2PROM circuit, erase / write times can be more than one million times.
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