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提出一种新的高精度大型平面扫描仪。利用双光束补偿系统，扫描头由一特殊光路组成。
双光束补偿扫描系统
【摘 要】
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提出一种新的高精度大型平面扫描仪。利用双光束补偿系统，扫描头由一特殊光路组成。
【机 构】
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清华大学精密仪器系,100084
【出 处】
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航空计测技术
【发表日期】
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1998年4期
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