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离子束溅射制备Co/Pt多层膜的结构和磁性
离子束溅射制备Co/Pt多层膜的结构和磁性
来源 :真空科学与技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:chensiyao159
【摘 要】
:
采用离子束溅射技术制备了Co/Pt多层膜,并研究了多层膜的结构和磁性随Co层厚度或Pt层厚度的变化关系。结果表明Co层呈现出hcp结构的(002)结构,Pt层表现出fcc结构的(111)织构。当Co层和Pt层都比较薄时,界面有Co-Pt的化合
【作 者】
:
许思勇
赵怀志
冯嘉猷
李文治
【机 构】
:
昆明贵金属研究所,650221,清华大学材料科学与工程系,100084
【出 处】
:
真空科学与技术
【发表日期】
:
1995年2期
【关键词】
:
离子束溅射
钴/铂多层膜
磁矫顽力
结构
磁性
Ion beam sputtering
Thin Co/Pt multilayered films
Coer
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采用离子束溅射技术制备了Co/Pt多层膜,并研究了多层膜的结构和磁性随Co层厚度或Pt层厚度的变化关系。结果表明Co层呈现出hcp结构的(002)结构,Pt层表现出fcc结构的(111)织构。当Co层和Pt层都比较薄时,界面有Co-Pt的化合物形成。
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