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本文介绍了Profile/Prof2d 软件的功能及特点,并给出了应用实例,表明Profile/Prof2d 软件在测量数据处理方面十分有效.
Profile/Prof2d软件及应用
【摘 要】
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本文介绍了Profile/Prof2d 软件的功能及特点,并给出了应用实例,表明Profile/Prof2d 软件在测量数据处理方面十分有效.
【机 构】
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东南大学微电子中心,东南大学微电子中心南京,南京
【出 处】
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微电子学与计算机
【发表日期】
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1990年11期
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