【摘 要】
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本文通过微结构结合镀膜的方法成功设计和制备了中红外宽带减反射元件。首先,根据实际应用需求,利用FDTD solutions软件,模拟了微结构周期、占空比、高度以及膜层厚度对所需
【机 构】
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上海科技大学物质科学与技术学院; 上海光学精密机械研究所薄膜光学实验室; 中国科学院上海光学精密机械研究所中科院强激光材料重点实验室; 中国科学院大学材料与光电研究中心;
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本文通过微结构结合镀膜的方法成功设计和制备了中红外宽带减反射元件。首先,根据实际应用需求,利用FDTD solutions软件,模拟了微结构周期、占空比、高度以及膜层厚度对所需波段透过率的影响规律,得到较好增透效果的微结构和膜层结构参数。根据设计参数,采用激光干涉曝光和反应离子束刻蚀技术在蓝宝石表面制备出相应微结构,然后在其表面镀制相应厚度的SiO2膜。测试结果表明:仅有单面微结构的蓝宝石元件在1.5～4μm波段的平均透过率达到92.3%,具有复合结构的蓝宝石元件在该波段的平均透过率高达98.7%,相对双面抛光蓝宝石样品透过率提升11.3%左右,实现了蓝宝石表面的宽带增透。对具有复合结构的蓝宝石元件进行了湿度验证和高低温循环实验,实验前后透过率曲线无明显变化,且无明显水吸收,说明该元件具有很好的环境适用性。
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