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为了保持半导体工业２５％－３０％的年增长率，必须大大提高了设备效率。一种新的被称为ＯＥＥ的评估方式，为芯片制造者和设备供应者提供了进一步理解和改进生产率的极好方法。
设备综合效率成为半导体工业最重要的评估方法
【摘 要】
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为了保持半导体工业２５％－３０％的年增长率，必须大大提高了设备效率。一种新的被称为ＯＥＥ的评估方式，为芯片制造者和设备供应者提供了进一步理解和改进生产率的极好方法。
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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1996年2期
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