【摘 要】
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本文介绍了一台自行设计制造的光电子能谱仪样品预处理装置。其真空度可达4×10~(-9)托。烘烤温度可达150℃～200℃。精密细长进样杆具有PID温度自动调节系统。样品可加热到600
【机 构】
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上海石油化工总厂研究院,上海石油化工总厂研究院,上海石油化工总厂研究院,
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本文介绍了一台自行设计制造的光电子能谱仪样品预处理装置。其真空度可达4×10~(-9)托。烘烤温度可达150℃～200℃。精密细长进样杆具有PID温度自动调节系统。样品可加热到600℃,冷却到0℃以下。在保持高真空下可自动、点动快速进样。在预处理室容器上能安装氩离子枪、四极质谱计、样品蒸发喷镀、进气、速冷、观察、照明等多种附件,从而扩大了原光电子能谱仪的功能。
This article describes a self-designed photoelectron spectrometer sample preparation device. The degree of vacuum up to 4 × 10 ~ (-9) care. Baking temperature up to 150 ℃ ~ 200 ℃. Precision slender probe with PID temperature automatic adjustment system. Samples can be heated to 600 ℃, cooled to below 0 ℃. Automatic, jog rapid injection while maintaining high vacuum. Argon ion guns, quadrupole mass spectrometers, sample evaporation, air inlet, rapid cooling, observation, illumination and other accessories can be installed on the pretreatment chamber container, thus expanding the function of the original photoelectron spectrometer.
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